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臭氧以其極活性的特質，具有極強的氧化力，可達到殺菌、除臭、解毒、漂白、保鮮等功效。
殺菌：
細菌與病毒多以蛋白質、RNA、DNA為主要成分，而臭氧以其強大的氧化力，可破壞、損傷其細胞膜、細胞壁、蛋白質外鞘，造成細胞質的流失而死亡，迅速而徹底清除含在空氣中、水中的病毒及細菌。
學術單位實驗報告指出水中臭氧濃度在0.05ppm時，只需經1~2分鐘處理，細菌的致死率就可達到99%以上。
解毒、脫臭：
由於工業的發展空氣中和水中充滿了各種對人體有毒害的物質，如一氧化碳、農藥、重金屬、肥料、有機物、臭味、顏色等，而此類物質多帶有正電，與帶負電的臭氧離子結合後，都會反應成對人體無害的安定物質。
保鮮：
歐美先進國家已大量用臭氧在各種食品的儲存，降低細菌孳生，可減少食品的損壞率，降低成本以提高利潤。如日本超市中的安心蔬菜即是以O3處理過的安全新鮮蔬菜。
漂白：
臭氧本身就是一個很強的漂白劑，因為臭氧具很強的氧化力，美國的旅館和監獄即是利用臭氧來處理髒衣物。
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